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球王会官方华裔科学家退休:他开发的专有激光器是EUV光刻光源
发布时间:2024-12-23 08:28:56 来源:m6米乐网页版 作者:球王会官方网址浏览次数:28

  Access Laser是一家孵化自加州理工大学的高科技企业。而毕业于加州理工大学的该公司创始人张勇博士在车库车间创立了这家公司--似乎美国的高科技公司都喜欢车库,并成长为一家拥有近100名员工和数千万美元收入的公司。

  张勇博士领导 Access Laser 超过 23 年,将公司塑造成 CO₂ 激光技术的创新者。

  张勇博士自述,其最为骄傲的技术成就,是其发明的激光器被部署在激光干涉引力波天文台(LIGO)设施--众所周知,LIGO被授予了2017年的诺贝尔奖。

  自1916年以来,人们就预言了引力波的存在。然而,即使是阿尔伯特·爱因斯坦也从未梦想过,如此惊人的小事件实际上可以被观察和测量。近一个世纪后的2002年,激光干涉仪引力波天文台(LIGO)开始在时空结构中寻找这些扭曲。但近十年的勤奋工程没有产生任何结果。长达数公里的迈克尔逊干涉仪应该足够灵敏,可以测量宇宙中最灾难性的事件,然而,系统噪声是一个始终存在且模糊的问题。

  一个主要问题是准直光学器件的热透镜。干涉仪探头光束的强度需要保持相干性,以便提供极其灵敏的干涉条纹,从而可以成功进行测量。Access Laser的贡献是提供了一种超稳定的光源,以抵消透镜表面的轻微温度梯度,从而消除其系统中的光学畸变。正是这些测量证实了引力波的存在,验证了爱因斯坦广义相对论的关键方面。

  成立于1999年的Access Laser,最初专注于用于科学研究的激光器,在定制激光器方面建立了强大的专业知识核心。

  2012年,Access Laser利用这一优势开发高度专业化的激光器,成为EUV市场的主要供应商。

  在EUV光源中,由通快提供的40千瓦放大器,将Access Laser提供的高精度二氧化碳激光器进行放大,最后击打在液态Sn的液滴之上,激发出EUV光源。

  2017年,由于EUV光刻机的大规模商用时代的来临,ASML的二氧化碳激光器供应商,德国激光巨头通快收购了Access Laser 85% 的股份,使其成为 EUV 光刻机核心产业链中的一员。

  如今,Access Laser的这一创新产品线与最近进入自动驾驶汽车、医疗和牙科市场的企业相结合,不断扩大其核心技术的产业化领域。

  在这些杰出的华裔商人的故事里,我们不仅可以看到他们的深厚的技术能力、创新的思维、产业化的能力、长期持之以恒的和努力,而不是为了某个职位打一枪换一个地方。

  在Access Laser的企业理念中,赚钱不是唯一的动力,更能解决别人无法解决的技术问题--我想这是科学技术创新的通用法则。


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