纳米压痕技能是测验固体资料外表机械性质的重要办法,已经有许多的文献是关于纳米压痕测验的,而其间大部分是关于硬度H和弹性模量E_r的相关研讨. 接连刚度测验法(CSM)广泛适用于纳米压痕测验,其原理是将一个小的谐振力加到压头上,压头的运动遵从准确的周期性.CSM法的首要优势是供给了动态触摸刚度S的直接丈量办法,能够丈量加载曲线的任何一点的刚度.选用CSM法,能够接连的取得膜基体系的硬度H和杨氏模量E_r,在不同的压入深度能够得到对应的值.许多研讨者经过直接剖析硬度H和弹性模量E_r跟着穿透深度的改变规则来评论膜基体系中基体的机械性质,而且提取薄膜的机械性质. 论文提出了一个简略而便利的办法,经过纳米压痕仪来丈量膜厚.这个办法经过剖析纳米压痕曲线的卸载曲线部分,选用二次多项式P=a(h-h_f)~2-P_0对卸载曲线进行拟合,其间P是压痕载荷,P_0是虚拟载荷,用来描绘剩余触摸应力,h_f是彻底卸载后的终究压痕深度,a是常数.将P_0/P_(max) vs最大压痕深度h_(max)的曲线作图,曲线将有一个最小值,对应这个最小值的h_(max)便是薄膜的厚度. 一起提出了一个经历公式来描绘接连刚度曲线,关于玻璃基钛膜进行纳米压痕试验,测验其E_r~2/H vs h,其间h是压痕穿透深度.经过剖析经历方程中参数的改变,然后评论经历方程的物理含义,进一步提取基体和薄膜的机械性质.

　　您能够直接购买此文献，1~5分钟即可下载全文，部分资源因为网络原因或许需求更长时刻，请您耐性等候哦~

　　集成海量学术资源，交融人工智能、深度学习、大数据剖析等技能，为科研工作者供给全面方便的学术服务。在这里咱们坚持学习的情绪，不忘初心，砥砺前行。