3月2日,记者从清华大学精密仪器系得悉,该系张书练教授课题组进行原理研讨并由北京镭测科技有限公司开发出产的双折射双频激光干涉仪完成批量出产。
双频(两频率)激光干涉仪是科学研讨、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等职业都离不开的光学尺子,用于丈量零部件的尺度,视点,方位,直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行差错补偿的根本仪器。
张书练介绍,双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是克己专用激光器,称为塞曼双频激光器,不对外供给。此前我国的双频激光干涉仪只能进口一般激光器,从中选出可用的,筛选率高,功能上不去,导致双频激光干涉仪国产化困难。
据介绍,此次清华大学精密仪器系创造的双折射原理的双频激光器比传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率距离大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。分辨率到达1纳米(十亿分之一米),线米,非线米。
张书练指出,双折射双频激光器的运用带动了干涉仪整机的光机电体系立异规划,使双折射双频激光干涉仪具有便携,便利,鲁棒等优秀功能。(记者 马爱平)
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