球王会官方国产双折射双频激光干涉仪完成批量出产
张书练课题组进行原理研讨并由北京镭测科技有限公司开发出产的双折射双频激光干涉仪具有优秀的可靠性和先进的技术指标,其间,双折射双频激光干涉仪的分辨率到达1纳米(十亿分之一米),线米,非线米。
双频(两频率)激光干涉仪是科学研讨、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等职业都离不开的光学“尺子”。它首要用于丈量零部件的尺度、视点、方位、直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行差错补偿的根本仪器,更是先进制造业的重器。
据了解,双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是克己专用激光器,称为塞曼双频激光器,但不对外供给。而我国的双频激光干涉仪只能从进口一般激光器进行挑选,其国产化困难一直是先进制造业的痛点。
鉴于此,清华大学精密仪器系安排研制,其创造的双折射原理的双频激光器比国表里传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率距离大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。
专家表明,双折射双频激光器的运用带动了干涉仪整机的光机电体系立异规划,使双折射双频激光干涉仪具有便携、便利、鲁棒等优秀功能。
据悉,该双折射双频激光干涉仪于2018年试产,并在使用中试错、改善,2020年头批产并得到快速推行。
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