球王会官方双频激光丈量体系及其在lC加工设备中的使用

　　IC加工设备例如电子束曝光机、图形发生器以及投影光刻机中的精细定位x一y工件台体系，实际上是带有座标丈量的双向定位工件台体系，工件台体系的定位精度直接影响图形加工精度。众所周知，工件台体系精度是机械结构精度和丈量体系精度的归纳，精细定位工件台的座标丈量方法遍及选用激光干涉仪法。因而在规划合理的工件台机械结构的一起，有必要合理挑选高精度、高速度和高可靠性的丈量体系。美国HP公司出产的5501型双领激光侧量体系遍及地使用于IC加工设备中。表1列出几种电子柬曝光机、投影光刻机以及图形发生器中选用

　　以往选用的单频激光丈量体系是一个直流丈量体系，接收器接收到的信号是激光相干后发生的亮光暗改变条纹，前置放大器选用直流放大器，该体系必定存在直流光平缓直流电平的漂移问题，抗干扰性差，作业不安稳.选用双频激光丈量体系，激光束是包括有两个频率f1和f2且幅值持平的光束，.别离表明为：

　　脉冲数N。由以上剖析可见双频激光丈量体系实际上是一个沟通丈量体系，前置放大器可选用高倍率的沟通放大器，因而无零点漂移，抗干扰性好，作业安稳，光强衰减到90%依然能得到所需求的信号。国内外IC加工设备广泛选用美国HP公司出产的5501型双频激光丈量体系，作为精细定位x一y工件台的方位丈量体系。