球王会官方激光干与仪根本原理

　　激光干与仪发射单一频率光束射入线性干与镜，然后分红两道光束，一道光束（参阅光束）射向衔接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（丈量光束）则经过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，从头会聚之后回来激光器，其间会有一个探测器监控两道光束之间的干与（见图）。

　　若光程差没有改动时，探测器会在相长性和相消性干与的南北极之间找到安稳的信号。若光程差有改动时，探测器会在每一次光程改动时，在相长性和相消性干与的南北极之间找到改动信号，这些改动会被核算并用来丈量两个光程之间的差异改动。

　　器(绿光,λ=532nm,3mw,寿数高达10000小时) 1.3.斜向规划丈量池放置方位,能够获取1台

　　激光干与仪是一种以波长作为规范对被测长度进行丈量的仪器。激光干与仪是20世纪60年代晚期面世的一种新式的丈量设备，由美国HP公司研发成功并于1970年投入市场，随即遭到了相关职业特别是机床制造业的注重，其首要在：线形、视点、笔直度、直线度、平面度等方面上运用。跟着激光干与仪丈量技能的不断提高，丈量软件的不断开发其丈量规模越来越广泛，特别是在丈量数控机床方位精度方面用处最为广泛。

　　从激光器宣布的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会集在分光镜上而发生干与条纹。当可动反射镜移动时，干与条纹的光强改动由承受器中的光电转化元件和电子线路等转化为电脉冲信号，经整形、扩大后输入可逆计数器核算出总脉冲数，再由电子核算机按核算式式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。运用单频激光干与仪时，要求周围大气处于安稳状况，各种空气湍流都会引起直流电平改动而影响丈量成果。

　　在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。因为塞曼割裂效应和频率牵引效应,激光器发生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个相互笔直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参阅光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应发生的附加频率,正负号表明移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或承受器运动时会发生改动)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片 2后会组成为f1-(f2±Δf）的丈量光束。丈量光束和上述参阅光束经各自的光电转化元件、扩大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子核算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干与仪是运用频率改动来丈量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强改动引起的直流电平改动不灵敏，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标丈量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标丈量机等的丈量体系。运用相应附件，还可进行高精度直线度丈量、平面度丈量和小视点丈量。

　　国内双频激光干与仪出产企业首要有北京镭测科技有限公司，该公司的产品技能和作业人员首要来自于清华大学精细测验技能及仪器国家要点试验室，具有自主知识产权，技能目标抵达或优于国外产品平等水平。

　　白光干与仪是用于对各种精细器材外表进行纳米级丈量的仪器，它是以白光干与技能为原理，光源宣布的光经过扩束准直后经分光棱镜后分红两束，一束经被测外表反射回来，别的一束光经参阅镜反射，两束反射光终究会聚并发...

　　白光干与仪是用于对各种精细器材外表进行纳米级丈量的仪器，它是以白光干与技能为原理，光源宣布的光经过扩束准直后经分光棱镜后分红两束，一束经被测外表反射回来，别的一束光经参阅镜反射，两束反射光终究会聚并发...

　　1604年开普勒（J．Kepler）写出光学作品，指出光的强度和抵达光源间隔的平方成反比。并于1611年出书《折射光学》。

　　1801年托马斯•杨（Thomas Young）用双狭缝试验演示了光的干与现象，即闻名的杨氏双缝试验。

　　1881垂暮克尔逊（Albert．A．Michelson）规划了闻名的试验来丈量“以太”漂移。当然没测到漂移，由此导致“以太”说的幻灭和相对论的诞生。它初次用于干与仪，以镉红谱线与世界米原器作比照。正是因为他的作业导致后来用光的波长界说“米”。因为他在精细光学仪器、光谱和计量范畴的研讨作业于1907年取得诺贝尔奖。

　　1960年Maiman研发成功第一台红宝石激光器，从此开端了光学技能飞速开展的新时代。从此，激光干与丈量被广泛地用于长度、视点、微观修订、转速、光谱等范畴，并和微电子技能、核算机技能集成，成为现代干与仪。

　　1982年G．Binning和H．Rohrer研发成功扫描隧道显微镜，1986年创造原子力显微镜，1986年取得诺贝尔奖。从此开端了干与仪向纳米、亚纳米分辨率和精度行进的新时代。

　　因为激光具有极好的时刻相干性，自面世以来，已研宣布多种激光干与仪：单频激光干与仪、双频激光干与仪、半导体激光干与仪、法布里-珀罗（F-P）干与仪、X射线干与仪等。

　　激光干与仪是激光在计量范畴中最成功的运用之一。运用光的干与完结丈量，具有非触摸、无损检测的特色，已经在各个不同范畴得到广泛的运用。

　　双频激光干与仪除了可用于长度的精细丈量外，配上恰当的附件还可丈量视点、直线度、平面度、振荡间隔及速度等等。

　　即便光强衰减 90%，依然能够得到有用的干与信号。因为这一特色，双频激光干与仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标丈量机，也能够在一般的车间内为大型的机床的刻度进行标定。

　　单频的激光器它的一个底子缺陷便是受环境影响严峻，在测验环境恶劣，丈量间隔较长时，这一缺陷十分杰出。其原因在于它是一种直流丈量体系，必定具有直流光平缓电平零漂的坏处。激光干与仪可动反光镜移动时，光电接纳器会输出信号，假如信号超过了计数器的触发电平则就会被记录下来，而假如激光束强度发生改动，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器中止计数，使激光器强度或干与信号强度改动的首要原因是空气湍流，机床油雾，切削屑对光束的影响，成果光束发生偏移或波面歪曲。这种无规则的改动较难经过触发电平的主动调整来补偿，因而约束了单频干与仪的运用规模，只需设法用沟通丈量体系代替直流丈量体系才干从底子上战胜单频激光干与仪的这一缺陷。

　　而双频激光干与仪正好战胜了这一缺陷，它是在单频激光干与仪的根底上开展的一种外差式干与仪。和单频激光干与仪相同，双频激光干与仪也是一种以波长作为规范对被测长度进行衡量的仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者的干与信号是介于最亮和最暗之间的某个直流光平，而后者的干与信号是一个频率约为1.5MHz的沟通信号；另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干与信号是在最亮和最暗之间缓慢改动的信号，而后者的干与信号是使原有的沟通信号频率添加或减少了△f，成果依然是一个沟通信号。因而关于双频激光干与仪来说，可用扩大倍数较大的沟通扩大器对干与信号进行扩大，这样，即便光强衰减90%，依然能够得到合适的电信号。因为这一特色，双频激光干与仪能够在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标丈量机等，也能够在一般车间内为大型机床的刻度进行标定，既能够对几十米的许多程进行精细丈量，也能够对手表零件等细小运动进行精细丈量，既能够对几许量如长度、视点．直线度、平行度、平面度、笔直度等进行丈量，也能够用于特别场合，比如半导体光刻技能的微定位和核算机存储器上记录槽间隔的丈量等等。

　　1. 精度高 双频激光干与仪以波长作为规范对被测长度进行衡量的仪器。即便不做细分也可抵达μm 量级，细分后更可抵达n m量级。(安捷伦5530激光干与仪线. 运用规模广 双频激光干与仪除了可用于长度的精细丈量外，丈量视点、直线度、平面度、振荡间隔及速度等等，还能够分光进行多路丈量。

　　3. 环境习惯力强 即便光强衰减 90%，依然能够得到有用的干与信号。因为这一特色，双频激光干与仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标丈量机，也能够在一般的车间内为大型的机床的刻度进行标定。

　　一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，构成固定长度参阅光束。另一个角锥反射镜相关于分光镜移动，构成改动长度丈量光束。

　　假如两光程差发生改动，每次光路改动时探测器都能观察到相长干与和相消干与两头之间的信号改动。这些改动（条纹）被数出来，用于核算两光程差的改动。丈量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。

　　激光干与仪具有完结线性、视点、直线度、笔直度、回转轴等几许量的检测功用。能够检测数控机床、三坐标丈量机等精细运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；一同也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、直线度和笔直度；并能够校准机床的回转轴。

　　干与仪是以激光波长为已知长度、运用迈克耳逊干与体系丈量位移的通用长度丈量东西。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期呈现的，开端用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精细测长。双频激光干与仪是1970年呈现的，它合适在车间中运用。激光干与仪在极挨近规范状况(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的丈量准确度很高，可达1×10。

　　图1为单频激光干与仪的。从激光器宣布的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会集在分光镜上而发生干与条纹。当可动反射镜移动时，干与条纹的光强改动由承受器中的光电转化元件和电子线路等转化为电，经整形、扩大后输入可逆计数器核算出总脉冲数，再由电子核算机按核算式[356-11]

　　式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。运用单频激光干与仪时，要求周围大气处于安稳状况，各种空气湍流都会引起直流电平改动而影响丈量成果。

　　图2为双频激光干与仪的作业原理。在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。因为塞曼割裂效应和频率牵引效应，激光器发生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个相互笔直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参阅光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束，另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应发生的附加频率，正负号表明移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或承受器运动时会发生改动)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会组成为f1-(f2±Δf)的丈量光束。丈量光束和上述参阅光束经各自的光电转化元件、扩大器、整形器后进入减法器相减，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子核算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干与仪是运用频率改动来丈量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强改动引起的直流电平改动不灵敏，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标丈量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标丈量机等的丈量体系。运用相应附件，还可进行高精度直线度丈量、平面度丈量和小视点丈量。

　　双频激光干与仪的创造使激光干与仪终究摆脱了计量室的捆绑，更为广泛的运用于工业出产和科学研讨中。

　　跟着航空航天、重型机械、发电设备、船舶工业的开展，对大尺度丈量的要求越来越高。一些精细合作的大型零部件，尺度抵达十几米甚至几十米，精度要求抵达IT7以上。怎么丈量这些零部件长时间以来一直是困扰计量作业者的技能难题。现在实践运用的丈量手法仍以外径千分尺、内径测杆等传统丈量东西为主，远远不能满意需求。清华大学曾研宣布一套很好的对准办法，与激光干与仪相结合，用于丈量大尺度可抵达很高的精度，但该办法有必要运用高精度导向导轨，约束了在出产、设备现场的运用。因而，开发高精度、无导轨大尺度丈量技能，一直是长度计量范畴的一个重要课题。

　　激光技能的快速开展为大尺度精细丈量开辟了簇新的范畴。近二十年来，呈现了多种无导轨大尺度丈量办法，其间，遭到广泛重视的无导轨激光干与仪是近年来开展很快的一种先进丈量办法。

　　小数重合法是无导轨激光干与仪的根底。它是一种丈量和数据处理办法，常用于量块检定中。浅显地说，这种丈量办法就像用不同长度的几把“尺子”去量同一个物体，只需得到各次丈量值的尾数，即可导出物体的实践长度，它并不关怀丈量的实践进程。

　　激光干与仪是以波长为根本计量单位的，多波长激光器的开展，是完结不同长度“尺子”的根底。激光器能够安稳地输出多种波长的激光，运用光学拍波技能，能够将这些单波长组成为一组波长邻近、间隔均匀的“组成波长链”。“组成波长链”是一个塔形结构，塔顶是最高一级组成波，其波长最长，塔底则是单波长。丈量时，干与仪以不同波长的激光作业，从第一流（最长波）开端，逐级下降，直至单波长。激光干与仪的丈量成果是在各种波长干与下的一组剩下相位，以此可推导出总丈量长度，因为每次的丈量值都是剩下相位，与丈量进程无关，因而不需求导向导轨。

　　挑选合适的“组成波长链”是无导轨激光干与仪的要害。长波干与确保了丈量值的唯一性，而丈量精度则取决于短波干与。为了简化丈量进程，还有一种只运用一个组成波的办法，如草创几百毫米的组成波，借助于一般丈量东西（如卷尺）测出大致的组成波周期数，剩下相位由干与仪测出，这种办法只需一次丈量即可完结，体系结构也十分简练，但因为所运用的波长较长，在丈量精度上必定有所丢失。

　　CO2激光器是一种十分合适无导轨激光丈量的光源，它在10.6μm波段具有丰厚的谱线，相邻谱线的波长差散布也比较均匀，构成的“组成波长链”的波长可从10.6μm到25m，因而，CO2激光干与仪一直是无导轨激光干与仪的研讨要点。从1979年开端，由直流干与体系到各种形式的光外差体系，CO2激光干与仪历经屡次改善，其间一种典型计划是上世纪九十年代澳大利亚研发的外差干与仪，它经过激光器的腔长操控，次序输出6种波长，用声光调制器的零级衍射作为本振光，构成外差体系，丈量精度可达4×10-8。

　　Ne-Xe激光器能够输出3.53μm和3.37μm两个波长，组成波长为84.2μm。从“组成波长链”的视点考虑，波长过短难以确保丈量成果的唯一性，为此，体系加入了He-Ne激光器的3.39μm谱线，将“组成波长链”延伸到464μm。Ne-Xe激光干与仪的最大绮丽是结构简略，丈量精度可达1.8×10-7。

　　我国计量科学研讨院研发的纵向塞曼He-Ne激光干与仪，与成都东西研讨所开发的双频激光干与仪不同，其稳频点选在两条激光增益曲线MHz的左、右旋偏振光（这两个偏振光不在同一增益曲线mm。运用光栅丈量干与的剩下相位。体系丈量长度可达100m，丈量精度为±（40+1.5×10-6）。

　　He-Ne激光器在3.39μm处谱线μm谱线的自发辐射系数比其它谱线大许多，按捺了其它谱线的发射。清华大学运用甲烷在3.3922μm邻近的一条吸收谱线，按捺了He-Ne激光这条谱线μm波段双波长激光干与仪，其“组成波长链”从3.39μm到1m，单波安稳性为1×10-8。

　　变波长激光干与仪草创两个激光器，运用谐振腔长与输出频率的颓丧，构成“无级”的波长系列，在抱负的环境下，13m长度规模的丈量精度为70μm。

　　近年来，半导体激光器线性调频技能的开展，为无导轨激光干与仪供给了一个抱负的光源，成为无导轨激光干与技能研讨的热门。1995年，德国草创了外腔可调谐式半导体激光器，其外腔由全息光栅组成，经过改动光栅的视点进行频率挑选，相干长度可达100m，40m长度规模的分辨率可达40μm。

　　无导轨激光干与仪技能的开展仅有二十多年的前史，因为它在大尺度丈量中具有无可代替的重要性，因而各国学者倾泻了许多精力进行研讨开发，现在这项技能逐渐走向实用化阶段。跟着科技的开展，信任在不久的将来，无导轨激光干与仪技能必将成为大尺度丈量范畴中的一朵美丽的奇葩。

　　跟着20世纪60年代初激光的呈现，几许量计量技能的开展步入了簇新的时期。双频激光干与仪正是运用激光具有频率安稳、单色性好等绮丽，在几许量计量范畴发挥着越来越重要的效果。双频激光干与仪具有精度高、运用规模广、环境习惯能力强、实时动态测速高级一系列无与伦比的优势，成为几许量计量活动的生力军。比较于激光干与仪，现代双频激光干与仪摆脱了计量室的捆绑，在越来越宽广的工程丈量范畴大显神通。因而，双频激光干与的创造对计量作业的开展甚至整个科学作业的开展有着无足轻重的效果。本文根据双频激光干与仪运用范畴的最新开展，对双频激光干与仪的运用进行了扼要的总结。

　　双频激光干与仪的创造把几许量计量开展面向了又一个顶峰，双频激光干与仪是现在精度最高、量程最大的长度计量仪器，以其杰出的功能、在许多场合，特别是在大长度与大位移的精细丈量中得到广泛运用。就长度计量而言，通常将200m以上的丈量称为间隔丈量（Distance Measurement），3m以下的称为一般长度丈量，3~200m之间的丈量称为大尺度丈量(Large Dimension Measurement)[1]。双频激光干与仪在一般长度精细丈量中多有运用。双频激光干与仪能够在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标丈量机等，也能够在一般车间内为大型机床的刻度进行标定，既能够对几十米的许多程进行精细丈量，也能够对手表零件等细小运动进行精细丈量，既能够对几许量如长度、视点．直线度、平行度、平面度、笔直度等进行丈量，也能够用于特别场合，比如半导体光刻技能的微定位和核算机存储器上记录槽间隔的丈量等等。不仅在单纯的长度计量范畴，在其他工程技能范畴，双频激光干与仪的运用也越来越广泛，不乏一些很有创见的运用。关于双频激光干与仪在处理某个工程丈量问题的研讨已经有十分多的成功事例，以双频激光干与仪为要害词的学术论文不乏其人，对双频激光干与仪的运用，国内外许多学者常常有很独特的了解。双频激光干与仪的运用也不断开展更新，所以，有必要对它的运用做一些有利的总结，使人们更好的了解双频激光干与仪的运用，为推进出产开展供给一些理论根据。

　　双频激光干与仪的原理是建立在塞曼效应、牵引效应和多普勒效应的根底之上的。其原理如图2所示，在全内腔He-Ne激光器上加约0.03T的轴向磁场，因为塞曼效应和牵引效应，宣布一束含有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光，它们的频率差大约是1.5MHz左右。这束光经1/4波片之后成为两个相互笔直的线偏振光，再经平行光管准直和扩束。从平行光管出来的这束光经过析光镜反射出一小部分作为参阅光束经过45°放置的检偏器。并由马吕斯规律可知，两个笔直方向的线°方向上投影，构成新的线偏振光并发生拍频。这个拍频频率刚好等于激光器所宣布的两个光频的差值即（f1-f2），约为1.5MHz。经光电元件承受进入前置扩大器和核算机。另一部分透过析光镜沿院方向射向偏振分光棱镜。相互笔直的线射向参阅立体直角锥棱镜后回来，f1透过偏振分光棱镜到立体直角锥棱镜——丈量棱镜，这时假如它以速度v运动，那么f1的回来光便有了改动成为（f1±Δf）。这束光回来后从头经过偏振分光棱镜并与f2的回来光会集，然后到45°放置的检偏器上发生拍频被光电元件接纳，进入前置扩大器和核算机。核算机对两路信号进行比较，核算它们之间的差值±Δf（即多普勒频差）。从而能够根据立体直角棱镜移动度数和时刻求得被测长度。

　　双频激光干与仪中，双频起到了调频的效果，被测信号仅仅叠加在这一调频副载波上，这副载波与被测信号一同均被接纳并转化成电信号。

　　双频激光干与仪是一种增量式测长仪。在时刻t内，被测长度对应的多普勒频差为计数器记住的脉冲数K。计数器计脉冲数时，需求有信号操控计数器开端计数和中止计数，此信号由准直体系供给。当准直体系对准被测轴径的丈量起点时，宣布一个开端计数信号；当准直体系对准被测的丈量结尾时，宣布一个中止计数信号，计数器中止计数。所以准直体系对准的精度直接影响丈量体系准确度。激光准直的作业原理为，由氦氖激光器发射出激光，经过前端望远镜体系后，发射是出一束激光束作为体系准直的基准，光电目标靶为准直体系的接纳设备，常用的是硅光电探测器。

　　双频激光干与仪与不同光学附件结合,能够丈量间隔、直线度、笔直度、平行度、平面度。因为仪器为模块化结构,设备方位灵敏,便于剖析机床差错来历;而且丈量时能够在作业部件运动进程中主动收集数据,更挨近机床的实践运用状况。与传统的检定办法比较,激光干与仪具有较高的精度和功率,并能及时处理数据,为机床差错批改供给根据。因而,用双频激光干与仪检测机床各项差错是一种用传统丈量手法难以完结的的技能。方位精度是机床的重要目标,现在世界各国机床检定规范中都引荐运用激光干与仪进行该项精度的检定。用双频激光干与仪检定方位精度运用长度干与仪和丈量反射镜,丈量时将长度干与仪置于不动方位,反射器设备在运动部件上(也可相反) 。双频激光干与仪在数控机床检定上的运用，便是对其各项形位差错的检定，在此不予赘述。

　　用激光干与仪体系进行准确的线性丈量 — 最佳操作及实践经验 1 简介 本文描绘的最佳操作过程及实践经验首要针对运用激光干与仪校准机床如车床、铣床以及 坐标丈量机的线性精度。可是，文中描绘的一般准则适用于一切状况。与激光丈量办法相 关的其它项目，如视点、平面度、直线度和平行度丈量不包括在内，用于完结 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短间隔精度丈量的特别办法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的间隔丈量单位。（ 1 微米比一根头发的 1/25 还细。因为太细，所以肉眼无 法看到，挨近于传统光学显微镜的极限值）。可完结微米级及更高分辨率的数显表的广泛 运用，为用户供给了令人满意的丈量精度。虽然丈量值在小数点后有许多位数，但并不表 明都很准确。（在许多状况下精度比显现的分辨率低 10-100 倍）。完结 1 微米的丈量分 辨率很简单，但要得到 1 微米的丈量精度需求特别注意一些细节。本文

　　SJ6000激光干与仪产品草创美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技能、高 精度环境补偿模块、 几许参量干与光路规划、 高精度激光干与信号处理体系、 高功能核算机 操控体系技能，完结各种参数的高精度丈量。经过激光热稳频操控技能，完结快速 (约 6 分 钟)、高精度 (0.05ppm)、抗干扰能力强、长时间安稳性好的激光频率输出，草创不同的光学镜 组能够丈量出线性、视点、直线度、平面度和笔直度等几许量，而且能够进行动态剖析。 SJ6000 激光干与仪产品具有丈量精度高、丈量速度快、最高测速下分辨率高、丈量范 围大等绮丽。经过与不同的光学组件结合，能够完结对直线度、笔直度、视点、平面度、平 行度等多种几许精度的丈量。在相关软件的合作下，还能够对数控机床进行动态功能检测， 能够进行机床振荡测验与剖析， 滚珠丝杆的动态特性剖析， 驱动体系的呼应特性剖析， 导轨 的动态特性剖析等，具有极高的精度