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双频激光干涉仪

球王会官方可消除非线性的外差激光干与仪

发布时间:2021-07-25 15:49:25 来源:m6米乐网页版 作者:球王会官方网址
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  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)创造专利请求 (10)请求发布号 CN102768011A (43)请求发布日 2012.11.07 (21)请求号 CN8.9 (22)请求日 2012.07.16 (71)请求人 上海大学 地址 200444 上海市宝山区上大道 99 号 (72)创造人 任晓;李斌;钟立源;王智渊;冯旭 (74)专利署理组织 上海上大专利事务所(一般合伙) 署理人 何文欣 (51)Int.CI G01B9/02; 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)创造称号 可消除非线性的外差激光干与仪 (57)摘要 本创造触及一种可消除非线性的外差激光 干与仪。它包括双频激光器、非偏振分光镜、偏 振分光镜、三个 1/4 波片、两个角反射镜、两个 偏振片、两个光电探测器、相位卡、工控机、驱 动器、直流伺服电机和编码器。当丈量反射镜位 置的改变使得两干与臂光程差改变 ΔL 时,由相 位卡测得的相位差信号 Δφ 与光程差 ΔL 存在非 线性关系。工控机依据收集到的相位差信号操控 直流伺服电机使可滚动的偏振片按必定方向旋 转,直到相位差数值数显现为零,电机中止转 动。这时由编码器测出偏振片转过的视点,由此 可得出丈量反射镜不包括非线性的实践位移。本 创造可用于纳米级位移的丈量。 法令状况 法令状况布告日 2012-11-07 2012-11-07 2012-12-26 2012-12-26 2015-05-06 2015-05-06 2019-07-05 法令状况信息 揭露 揭露 本质检查的收效 本质检查的收效 授权 授权 专利权的停止 法令状况 揭露 揭露 本质检查的收效 本质检查的收效 授权 授权 专利权的停止 权利要求说明书 可消除非线性的外差激光干与仪的权利要求说明书内容是....请下载后检查 说明书 可消除非线性的外差激光干与仪的说明书内容是....请下载后检查


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