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双频激光干涉仪

球王会官方根据双频激光干与原理的大尺度直径丈量的研讨

发布时间:2021-07-16 09:20:04 来源:m6米乐网页版 作者:球王会官方网址
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  根据双频激光干与原理的大尺度直径丈量的研讨 樊凤杰;孟宗 【摘 要】提出了一种根据双频激光干与原理的大尺度直径丈量的新办法,选用激光 准直仪出射的高安稳光线瞄准和定位固定在被测工件直径两端点上的光电接纳器, 一起运用双频激光干与仪丈量两个光电接纳器中心间的间隔,经过几许核算得到被 测直径尺度.试验标明,该办法有较高的丈量准确度,丈量体系的相对差错小于 5×106. 【期刊称号】《计量技能》 【年(卷),期】2008(000)002 【总页数】3 页(P37-39) 【要害词】直径丈量;双频激光干与仪;激光准直仪;瞄准定位 【作 者】樊凤杰;孟宗 【作者单位】燕山大学电气工程学院,秦皇岛,066004;燕山大学电气工程学院,秦皇 岛,066004 【正文语种】中 文 【中图分类】工业技能 .■臣?囡圈:?■根据双频激光干与原理的大尺度直径丈量的研讨樊凤杰孟宗? 燕山大学电气工程学院,秦皇岛???????摘要提出了一种根据双频激光干与 原理的大尺度直径测鼍的新办法,选用激光准直仪出射的高安稳光线 瞄准和定位 固定在被测??件直径两端点上的光电接纳器,一起运用双频激光干与仪丈量两个 光电接纳器中心问的 间隔,经过几许核算得到被测直径尺度。试验标明,该办法 有较高的丈量准确度,测虽体系的相对差错小于?× ??—?。要害词直径测鼍; 双频激光于涉仪;激光准直仪;瞄准定位?导言现在国内外对中小尺度的丈量技能 日趋完善, 可是对大尺度??????以上的尺度?的丈量,特别是 大型工件内 外径的丈量开展却非常缓慢,丈量成果 差错大,不能满意现代精细丈量要求。大 型要害零 件的尺度精度是确保严重技能装备制作质量的一个 重要因素,在大型机 器制作中,大型轴孔类零件直径 的高精度丈量是一个亟需处理的技能难题 ????。 咱们运用双频激光干与仪对大尺度直径的丈量问题 进行了研讨,得到 了较好的丈量数据。?激光干与丈量原理双频激光干与仪的光学体系原理如图?所 示?????。将氦氖激光器置于一轴向磁场中,因为塞 曼效应的效果,使激光 谱线分为两个幅位相同、方向 相反的左、右旋圆偏振光。因频率牵引的效果,使 这 两支光的频率.厂?和.厂?相差不大,一般为?.???? 左右。处在激光 的可拍频差之内。这两支频率别离 为厂】和.厂?的圆偏振光,经过入/?波片 之后,构成两 个振荡方向相互笔直的线偏振光?设厂?平行于纸 面,疋笔直于纸 面?。它们经准直体系扩束后,在分 光镜上被分为两部分:一小部分作为参阅光 束被反 射,经??。放置的检偏器发生拍频为?.厂?一.厂??的 “拍”。该 信号由光电管接纳并转换为电信号,进入 前置扩大器后送核算机处理;另一大部 分光透过火 光镜,沿原方向射向偏振分光镜。相互笔直的频率 为厂】和疋的偏振 光,在分光面上别离被反射和透 射至参阅镜和丈量镜,然后再返射回分光面处汇 合。其间,由丈量镜回来的偏振光因为多普勒效应,频率 变为厂???△,,其间 △,??确/?,口为丈量镜移 动的速度,这两支光集合后,经棱镜反射到??。 放置 的检偏器发生“拍”,信号由光电管接纳,经前置扩大 器后,送核算机处理。 核算机将两路信号进行同步 相减,得出多普勒频差△.厂。图?双频激光干与仪光 学原理图在时刻£内与被测长度对应的多普勒频差为计数器计得的脉冲数忌 忌? £州??『:各妒『:彘?? ?』:铷??詈?优??扣?孕㈤ 所以被测长度? 为??忌鲁???式中,愚为由计数器测得的脉冲数。 上式标明,只需测得计数 器的脉冲数,就可以测 得被测长度?。??????要提出了一种根据双频激光 干与原理的大尺度直径测鼍的新办法,选用激光准直仪出射的高安稳光线瞄准和定 位固定在被测??件直径两端点上的光电接纳器,一起运用双频激光干与仪丈量两 个光电接纳器中心问的间隔,经过几许核算得到被测直径尺度。试验标明,该办法 有较高的丈量准确度,测虽体系的相对差错小于?×??—?。现在国内外对中小 尺度的丈量技能日趋完善,可是对大尺度??????以上的尺度?的丈量,特别 是大型工件内外径的丈量开展却非常缓慢,丈量成果差错大,不能满意现代精细测 量要求。大型要害零件的尺度精度是确保严重技能装备制作质量的一个重要因素, 在大型机器制作中,大型轴孔类零件直径的高精度丈量是一个亟需处理的技能难题 ????。咱们运用双频激光干与仪对大尺度直径的丈量问题进行了研讨,得到了 较好的丈量数据。双频激光干与仪的光学体系原理如图?所示?????。将氦氖 激光器置于一轴向磁场中,因为塞曼效应的效果,使激光谱线分为两个幅位相同、 方向相反的左、右旋圆偏振光。因频率牵引的效果,使这两支光的频率.厂? 和.厂?相差不大,一般为?.????左右。处在激光的可拍频差之内。这两支 频率别离为厂】和.厂?的圆偏振光,经过入/?波片之后,构成两个振荡方向互 相笔直的线偏振光?设厂?平行于纸面,疋笔直于纸面?。它们经准直体系扩束后, 在分光镜上被分为两部分:一小部分作为参阅光束被反射,经??。放置的检偏器 发生拍频为?.厂?一.厂??的“拍”。该信号由光电管接纳并转换为电信号, 进入前置扩大器后送核算机处理;另一大部分光透过火光镜,沿原方向射向偏振分 光镜。相互笔直的频率为厂】和疋的偏振光,在分光面上别离被反射和透射至参阅 镜和丈量镜,然后再返射回分光面处集合。其间,由丈量镜回来的偏振光因为多普 勒效应,频率变为厂???△,,其间△,??确/?,口为丈量镜移动的速度, 这两支光集合后,经棱镜反射到??。放置的检偏器发生“拍”,信号由光电管接 收,经前置扩大器后,送核算机处理。核算机将两路信号进行同步相减,得出多普 勒频差△.厂。数器计得的脉冲数忌忌?£州??『:各妒『:彘???』:铷 ??詈?优??扣?孕㈤所以被测长度?为式中,愚为由计数器测得的脉冲数。上 式标明,只需测得计数器的脉冲数,就可以测得被测长度?。■?目巨囝 ?激光准 直技能计数器计脉冲数时,需求有信号操控计数器开 始计数


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