球王会官方双频激光干与位移控制系统

　　声明：，，，。概况

　　跟着人们对偏振光研讨的深化，使用不同频率光束的干与原理即拍频原理可制造新的位移控制系统，并且其精度能得到极大进步。其首要原理如下：

　　2：光束通过1/4玻片后两束偏振光变成轰动方向笔直的线：偏振光进入分束器，一部分光被反射, 作为干与仪的参阅信号，另一部分透过火束器。

　　4：透过火束器的光束进入偏振分束器，使得两束频率不同的光别离。别离以自准直视点笔直入射到基准光栅上。

　　6：光束进入探测器1和2前会先经检偏器2再进行干与由探测器检测。对所得成果再进行相应核算处理便可得到光栅的位移巨细，从而得到作业台移动间隔。

　　2：光束通过1/4玻片后两束偏振光变成轰动方向笔直的线：偏振光进入分束器，一部分光被反射, 作为干与仪的参阅信号，另一部分透过火束器。

　　4：透过火束器的光束进入偏振分束器，使得两束频率不同的光别离。别离以自准直视点笔直入射到基准光栅上。

　　6：光束进入探测器1和2前会先经检偏器2再进行干与由探测器检测。对所得成果再进行相应核算处理便可得到光栅的位移巨细，从而得到作业台移动间隔。

　　双频激光干与仪具有如下长处：丈量反射镜与参阅反射镜行程纵向参阅丈量，可完成零死程丈量；光学结构具有 4倍光学细分(λ/4)，在选用 Agilent 丈量板卡后，能够完成亚纳米级丈量分辨力(0.15nm)、较大的丈量规模(大于10m)、较高的丈量速度较高(大于 1m/s)和采样率(20MHz)；一起，因为双频激光干与仪接收器丈量的是差频信号，所以能够消除接收器长期作业引起的直流漂移差错，确保刻划机长期运转丈量的可靠性。双频激光干与仪的首要缺陷是所需建立光路杂乱，难以坚持长期安稳，对丈量环境要求较高，