从上世纪七十年代初期开端,国内相继有北京计量院、清华大学、北京科仪厂、沈阳仪器仪表所、上海计量局、新添光仪厂、昆明机床厂、哈尔滨量具刃具厂、陕西机械学院、北京机床研讨所、成都东西研讨所等十余家单位开端激光干涉仪的研发作业,可是因为各种原因,都难以构成产品。1987年,成都东西研讨所选用国外商用激光器和自主研发的热稳频等关键技能,成功地将产品推向市场,打破了国外独占。
成都东西研讨所有限公司于1972年开端研发双频激光干涉仪,至今已有40年前史,研讨范畴包含微晶玻璃毛细管激光器的制作、稳频技能研讨、各类激光干涉仪规划、以激光干涉仪为传感器的大型量仪等。作为激光干涉仪定型产品,几十年来先后开发了选用微晶玻璃激光器的激光干涉仪、根据商用激光器和热稳频技能的激光干涉仪、根据双纵模稳频的激光干涉仪等几代多种系列产品,是目前国内仅有获得计量产品出产许可证且能批量出产的产品。
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