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双频激光干涉仪

球王会官方激光干涉仪的作业原理

发布时间:2021-06-30 22:49:48 来源:m6米乐网页版 作者:球王会官方网址
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  上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。因为塞曼割裂效应和频率牵引效应,激光器发生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个相互笔直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参阅光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 f的光束,f是可动反射镜移动时因多普勒效应发生的附加频率,正负号表明移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会发生改变)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2f)的丈量光束。丈量光束和上述参阅光束经各自的光电转化元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有f的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是使用频率改变来丈量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强改变引起的直流电平改变不灵敏,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标丈量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标丈量机等的丈量体系。使用相应附件,还可进行高精度直线度丈量、平面度丈量和小视点丈量。


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