球王会官方求纳米压痕专家和做过的高手点拨
我做纳米压痕，压入深度100nm，压痕外接圆理论为10倍深度，为什么做完后去做高倍SEM，怎样也看不到压痕，方位是明晰的并且找到了，试验后也有硬度和模量数据与理论较为匹配。请问为什么，是压入深度太低，未塑性变形？样品机械抛光，外表粗糙度？仍是或许存在定位不精准或什么原因的？求点拨。
压痕最好用AFM，能很明晰的调查到，在SEM下不简单找到，找到了也不或许看很明晰的扩大调查。
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