纳米压痕是一种先进的微标准力学丈量技能。它是经过丈量作用在压针上的载荷和压入样品外表的深度来取得资料的载荷-位移曲线。其压入深度一般控制在微/纳米标准，因而要求测验仪器的位移传感器具有优于1nm的分辨率，所以称之为纳米压痕仪。

　　纳米压痕技能又称深度灵敏压痕技能，它经过计算机控制载荷接连改变，并在线监测压入深度。一个完好的压痕进程包含两个进程，即所谓的加载进程与卸载进程。在加载进程中，给压头施加外载荷，使之压入样品外表，跟着载荷的增大，压头压入样品的深度也随之添加，当载荷到达最大值时，移在外载，样品外表会存在残留的压痕痕迹。图1为典型的载荷-位移曲线中能够清楚地看出，跟着试验载荷的不断增大，位移不断添加，当载荷到达最大值时，位移亦到达最大值即最大压痕深度hmx;

　　随后卸载，位移终究回到一固定值，此刻的深度叫残留压痕hr,也便是压头在样品上留下的永久塑型变形。