3月2日,新闻记者从清华仪器仪表系获悉,该系张书练专家教授研讨组展开基本原理科学研讨并由北京市镭测高新科技有限责任公司开发规划出产制作的双折射单频干涉仪完结大批量出产。
单频(两頻率)干涉仪是科研、光刻技能、数控车床、航天航空、船舰等范畴都离不了的电子光学直尺,用以准确丈量零部件的标准,视角,部位,平行线性,也是计量检定各种数控车床、激光加工机床及其光刻技能台的精密度,展开差值补偿的根底仪器设备。
张书练具体介绍,单频激光发生器是单频干涉仪的要害部件。海外干涉仪出产厂家满是自做专用型激光发生器,称之为塞曼单频激光发生器,不对外开放供货。从前在我国的单频干涉仪只要進口一般激光发生器,从这傍边挑选出能用的,不合格率高,特性提不上,形成 单频干涉仪国内出产制作的困难。
据了解,本次清华仪器仪表系创造发明的双折射基本原理的单频激光发生器比传统式的塞曼单频激光发生器的激光器输出功率高一倍、頻率距离大一倍或两三倍、沒有2个頻率中心藕合串混。屏幕分辨率做到1纳米(十亿分之一米),线纳米,准确丈量速率超出两米。
张书练着重,双折射单频激光发生器的使用推动了干涉仪整个机械的光机电系统软件创意规划,使双折射单频干涉仪具有便携式,快捷,鲁棒性等优质特性。
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