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用zygo干与仪检测非球面的新方法_工学_高等教育_教育专区。论文⑤ 2.6 一 耋 文. },涉池 迫干 ,j怕 茸干 糙26一 用Z GOY 数字 干与仪 检测非球面 的...
2-1-2 由迭加原理阐明干与现象由迭加原理阐明干与现象: 1. 破坏性干与如上图...ZYGO公司所制作的斐洛干与仪,而右 图则是 VEECO 公司的斐洛干与仪,一般光学...
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