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单频激光干涉仪

球王会官方Zygo干与仪及其运用的研讨

发布时间:2021-06-28 09:32:31 来源:m6米乐网页版 作者:球王会官方网址
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  Zygo干与仪及其运用的研讨 作者: 学位颁发单位: 于毅 天津大学 参阅文献(33条) 1.IO B 考洛米佐夫.李承业 干与仪的理论根底及运用 1982 2.GPI Growth Potential Interferometer 3.GPI XP Interferometer, Zygo(Asia Pacific) Pte Ltd 4.Zygo Interferometer System 5.蔡怀宇.于毅.黄战华.张以谟 依据EPP接口的CMOS图画收集体系规划[期刊论文]-仪器仪表学报erferogram Interpretation and Evaluation Handbook, Zygo Corporation 10.A H 格恩瑟.D H 利本伯.曹天宇 光学干与图的处理和判读 1986 11.鄢静舟 干与图特征信息主动收集办法[期刊论文]-光学技能 2000(1) 12.何玉明.谭玉山 光学干与条纹图画处理及运用 1990(05) 13.周恕义.关承祥.金国藩 干与条纹细化的曲线拟合办法[期刊论文]-电子丈量与仪器学报 1998(3) 14.何斌.马天予.王运坚 Visual C++数字图画处理 2003 15.殷纯永 现代干与丈量技能 1999 16.郁道银.谈恒英 工程光学 1999 17.周长发 科学与工程数值算法 2002 18.贺安之.阎大鹏 激光瞬态干与衡量学 1993 19.Rafael C Gonzalez.Richard E Woods.阮秋琦 数字图画处理 2003 20.叶宗泽.蔡高厅.邱忠文.梁立华 高等数学 1994 21.D 马拉卡拉 光学车间查验 1983 22.杨国光 近代光学丈量技能 1997 23.王文生 干与丈量技能 1992 24.成玉骏 关于外表温度测验中的几个问题[期刊论文]-航空计测技能 1995(4) 25.秦永烈 外表温度丈量 1989 26.崔志尚 温度计量与测验 1998 27.施德恒.黄国庆.刘玉芳 光源对测温体系测温精度及测温规模的影响[期刊论文]-光电子·激光 2003(5) 28.戴锅生 传热学 1999 29.王补宣 工程传热传质学 1998 30.E R G 埃克特.R M 德雷克.航青 传热与传质剖析 1983 31.朱正安 运用大气光学根底 1990 32.黄战华.蔡怀宇.李贺桥.张以谟 光线曲折对激光丈量热钢板厚度的影响[期刊论文]-光电工程 2001(6) 33.乔亚天 梯度折射率光学 1991 类似文献(7条) 1.学位论文 于杰 激光波长扫描干与测验办法用于非球面测验的研讨 2007 跟着非球面元件规划和加工技能的开展,在光学仪器的规划和制作中,非球面元件的特殊作用越来越明显,而对非球面光学元件的面形及其参数的 检测也就提出了越来越高的要求。 本文首要是研讨一种新的非球面检测办法一激光波长扫描干与测验办法。研讨的意图首要是针对大型高精度非球面面形检测中干与仪的参阅光路和 丈量光路较长,干与体系对作业台振荡和空气颤动等外界搅扰要素的影响灵敏,干与图不稳定等问题,提出了激光波长扫描干与测验办法,该办法经过 对瞬间读取的、与接连改变波长对应的干与图的处理和剖析,克服了上述缺陷,为大型高精度非球面的检测供给了一种适用的办法。 本文首要提出了课题研讨的布景和含义,对国内外相关技能的开展作了扼要的概述,具体介绍了非球面检测的基本理论,在此根底上,提出了波长 扫描干与测验办法的原理,构建了激光波长扫描干与仪试验体系。试验体系的硬件部分首要包含:波长可调谐的激光光源体系、试验用光学体系、图画 收集体系,本文侧重对波长可调谐的激光光源进行了剖析,对试验用光学体系进行了优化规划。软件部分首要包含干与图处理体系和丈量成果的输出 ,本文侧重介绍了干与条纹图处理的办法和原理,以及相关的算法,并完成了软件的编写。终究,在试验的根底上,给出了实践检测的样例和成果,并 对成果的合理性给出了验证。 2.期刊论文 杨甬英.刘东.王道档.卓永模Dao-dang.ZHUO Yong-mo 动态改变场的 高速高精度实时干与检测 -红外与激光工程2008,37(5) 运用数字化的干与技能对受温度、压力、湍流等具有大畸变的动态改变场波前完成高速高精度实时化的检测是十分需求的.介绍了一种依据空间位相 调制的径向剪切干与体系,配以具有接连与脉冲光于一体的半导体泵浦固体激光器,结合一种新颖的高速图画收集同步操控体系,能够对各种接连及动态变 化场波前完成共路干与、无需参阅面的瞬态、高精度的检测,波前图画收集频率在像素512x512时可到达1 000帧/s以上.体系的波前重构理论都经过了计 算机仿线 λ以上.与ZYGO数字波面干与仪比较,检测成果RMS优于1/15λ,并有很好的重复性;现在该体系已用于惯性束缚聚变 (ICF)等体系的脉冲波前检测,而且在航空航天、流体、流场的各类物理量的检测范畴具有广泛的运用远景. 3.期刊论文 王小鹏.朱日宏.苏俊宏.陈磊.WANG Xiao-peng.ZHU Ri-hong.SU Jun-hong.CHEN Lei 空间载频干与法 全场丈量长度技能 -光子学报2010,39(11) 在研讨二维快速傅里叶改换法进行干与测验基本原理的根底上,提出一种依据二维快速傅里叶改换的长度丈量法.以量块长度的丈量为目标,被丈量块 置于泰曼-格林干与仪测验光路中,参阅光波别离与待测长度的量块外表和辅佐平面反射的测验光波构成干与条纹,条纹由图画收集体系收集.运用编制的 算法处理软件,经过处理干与条纹图中量块边际辨认、区域延拓、滤波、波面一致,取得了量块全场外表的空间长度散布,完成了对量块长度的主动化丈量 .成果表明:该丈量法不只具有较高的丈量准确度,而且具有全场测验和非触摸丈量等长处. 4.学位论文 孔益 依据全场光学相干层析术的生物样品高分辩光学断层成像研讨 2010 全场光学相干层析术(Full-Field Optical Coherence Tomography,FFOCT)是在传统 OCT技能的根底上改善而来。此技能运用钨卤灯照明,依据Linnik结构干与,采纳面 阵CCD勘探器收集图画。FFOCT克服了传统OCT需求横向扫描的缺点,具有在视场 内所有点的图画被勘探器一起收集而坚持一致性、且易于完成高分辩率、体系操控比较 简略、机械稳定性高和等特色。 本文首要对全场光学相干层析术(FFOCT)的原理与性能参数及试验体系的建立进 行的研讨。首要,简略介绍了下近几十年来的生物医学成像技能,并与OCT技能进行 比较;其次,关于在传统OCT根底上改善得来的FFOCT在原理上进行剖析,对FFOCT 体系的各个性能目标进行了深化的剖析:轴向分辩率、横向分辩率、勘探灵敏度、成像 时刻、成像深度,比较了传统OCT和FFOCT的性能参数。再次,建立在试验的根底上, 对FFOCT体系的各个组成部分进行介绍:照明体系、干与体系、图画收集体系,以及 在各个组成部分中运用的办法,对在试验中应留意的事项进行了指明。终究,对FFOCT 体系的信号提取以及处理办法给出了比较适宜的办法。 关键词:全场光学相干层析术 分辩率 钨卤灯 Linnik 干与仪 5.学位论文 李路 依据条纹相位解调的三维面形动静态丈量技能的研讨 2008 现代光学干与丈量法已经在外表三维描摹的检测中得到广泛的运用,它具有丈量精度高和非触摸无损检测等特色。经过引进相位调制来完成被测信 息的提取,能够进步丈量精度,而且能完成主动检测。 相位调制办法能够分为时刻相位调制和和空间相位调制。时刻相位调制法即相移法,至少需求3幅相移干与图,在动态环境中很难完成;空间相位调 制法经过引进光载频条纹,这能够经过歪斜被测面或投影光栅完成。与相移技能比较,它只需求一帧干与条纹图就能康复出物体的三维描摹,使得物体 动态进程的三维描摹丈量变得或许。 本文研讨了一种依据显微干与的三维物体静测验体系,对光纤连接器端面进行了丈量。干与仪由Mirau干与物镜和镜筒透镜组成,CCD相机收集干与 图样,经处理后得到相位散布图。文中选用Carre相位提取算法,无需进行特定步长的相移。对光纤连接器端面的外表描摹、曲率半径、极点偏移进行测 量,丈量体系的横向分辩率可到达0.9μm,重复性丈量精度为9.5 nm。 别的,本文还提出一种依据高速图画收集和处理的三维动态丈量体系,将希尔伯特改换法和高速图画收集体系相结合,选用迈克尔逊干与原理完成 对被测外表的动态丈量,运用高速CMOS相机取得振荡进程中的序列干与图画,对经过参加空间载频的序列干与图顺次进行希尔伯特改换、高通滤波等操 作,得到序列包裹相位,运用三维相位解包裹再现物体外表各点的振荡进程,并康复接连振荡物体的瞬时外表描摹。 6.期刊论文 戴建明.王法远.谢宇.从守民.刘建军.李光源G Shou-min. LIU Jian-jun.LI Guang-yuan 一个研讨型试验项意图讨论--运用迈克耳逊干与仪测气体折射率 -淮北煤炭师范学 院学报(自然科学版)2006,27(2) 研讨型物理试验的开设对激起学生的求知欲、拓宽其知识面、培育其立异思维能力等方面具有重要含义.文章以迈克耳逊干与仪试验为例,经过在 试验设备中增设可调压强的气室和 CCD图画收集体系,完成对干与图样的实时调查和气体折射率的较准确丈量.试验规划还考虑到了试验内容及其难度的 可深化与拓宽空间,具有很强的研讨型试验特色,而且能够依据恰当的教育规划将此试验开设成综合性或规划性试验. 7.学位论文 周权 擒纵轮半主动视觉检测仪数控体系的研发 2009 擒纵轮半主动视觉检测仪是我课题组为“天津海鸥表业集团有限公司”研发开发的一款针对手表擒纵轮零件的检测设备,首要用于对机械手表机芯 中擒纵轮零件的几许尺度进行视觉检测,断定被测零件的合格性。项目中,“海鸥表业”提出了高检测精度和高检测功率的要求。br 要完成擒纵轮的半主动检测,需求数控体系驱动承载着图画收集体系的二维移动作业台做准确定位运动。这对数控体系的规划和机械结构的规划加工提 出了较高要求。本课题针对这一需求进行了如下作业:br 1.规划了擒纵轮半主动视觉检测仪总体方案。经过现场观摩检测人员对擒纵轮进行检测,最大极限的使检测仪习气操作者的操作习气。尽或许下降检测 人员的劳动强度。br 2.研讨数控体系的组成,对比了几种操控体系的优缺陷,进行了硬件选型。选取了适宜的操控器材,驱动器材和反应器材,并对机械进给设备进行了设 计和载荷校验。br 3.建立了完好的数控体系,规划编写了PLC操控程序并规划了功用模块。完成了对作业台的操控功用和与上位机的通讯功用。br 4.运用双频激光干与仪对二维移动作业台的定位精度和重复定位精度等目标进行了查验,剖析了差错发生的原因。经过修正PLC程序不断校对作业台的 定位精度,终究完成了较高的定位精度和重复性精度。 本文链接:授权运用:湖南大学(hunandx),授权号:ebcebd50-a599-4eab-851f-9e9c00ba6bad 下载时刻:2011年3月4日


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