球王会官方ZYGO干与仪阐明手册

　　(Fizeau interferometer) 的根本原理最近一个项目，要丈量一个玻璃平面是否平坦。调研了一番后发现有种菲索

　　是法国物理学家 Hippolyte Fizeau 在研讨以太 （ether）的性质时创造的一种光学仪器。虽然以太现已被证明时不存在的，可是他创造的

　　的原理 干与原理 这儿为什么是的可以说成为是的约等于？？在什么情况下是可以认为是约等于呢？如果是差错该怎样决绝呢？

　　从迈克耳孙干与仪干与原理动身，剖析了圆形镜面抛光面形差错对干与调准则的影响。因为存在镜面面形差错，干与调准则不能到达抱负情况下的100%，但其干与调准则不能低于抱负情况下的90%。经过剖析和评论，镜面面形...

　　子孔径拼接干与检测光学平面办法的研讨，田义，李洪玉， 建立了适宜的拼接模型，评论了子孔径拼接中的去歪斜模型，充分运用Matlab软件强壮的矩阵运算才能和与Zygo干与仪匹配的MetroPro软件处

　　为研发并校准径向干与仪，同哈特曼夏克(HS)传感器、Zygo干与仪进行了比照试验。经过试验与理论比照，得到径向剪切干与仪参数的最佳值。研讨了汉宁窗的取值规模和边际截取值的合理规模，成果标明，校准后的径向剪切...

　　干与图的处理是光干与计量中的关键技术...本文选用这些算法丈量薄膜样片的厚度与ZYGO干与仪测验成果比较，PV差错为0.0364，RMS最大差错为0.002，阐明运用该算法虽然处理的是单幅干与图但可以得到适当高的丈量精度。

　　波长移相干与仪的移相值与干与腔长度有关，需要对其标定方可选用定步长移相算法核算相位散布。为了标定研发的斐索型波长移相干与仪，...用该干与仪与Zygo干与仪对相同元件进行比较丈量，检测成果之差的RMS为0.742 nm。

　　用Zygo干与仪收集到的干与条纹图画经过图画增强、图画二值化、图画细化、图画骨架修正、条纹级次标定、数据收集等处理，可以得到在干与检测中用于波面剖析的数据集，环绕一幅用于断定光学平面面形的干与图的处理进程...

　　为了验证相位康复波前传感器的功能，搭建了相位康复传感器和Zygo干与仪对不同波前畸变进行比较丈量的试验渠道。选用液晶空间光调制器发生的单项像差来验证相位康复传感器对各种像差的检测才能，把相位康复丈量成果与...

　　为了探求不同干与仪对中频差错的呼应规则，取得相对实在的功率谱密度（PSD）散布，别离运用4D AccuFiz、ZYGODynaFiz以及ZYGOGPI三台干与仪检测周期性波纹和划痕样品，并对一维实测PSD曲线进行比照剖析。...

　　经过研讨光在空气中的传达原理，运用Edlen公式建立了Fizeau干与仪干与腔的理论模型，并给出了腔长、温度改变巨细与干与仪重复精度的定量联系。理论剖析标明，干与仪重复精度首要跟温度改变巨细和干与仪腔长有关。...

　　剖析了光纤阵列型点源发生器相对于透镜阵列型点源发生器的优势。针对光纤阵列型点源发生器各光纤出射光束...别离运用根据光纤阵列的歪斜波面干与体系和ZYGO干与仪对抛物面镜片进行丈量，二者取得的面形差错成果共同。

　　运用Zygo干与仪对斜入射下液晶空间光调制器的纯相位调制特性进行了丈量。建立了斜入射下液晶空间光调制器的纯相位调制数学模型，研讨了斜入射视点对相位调制特性的影响，搭建了根据Zygo干与仪的丈量体系，对不同...

　　为了处理运用激光干与仪丈量平行平板光学元件面形时会发生搅扰条纹的问题，提出了一种运用短相干光干与丈量平行平板光学元件面形的...试验丈量了一平行平板光学元件的面形，其面形数据与运用Zygo干与仪测得的成果符合。

　　拟定了装调计划，室内选用Zygo干与仪检测带支撑的主镜面形精度检测成果为0.04(RMS)，可见光波长的规划参考值为0.633 m，长焦端和短焦端的体系波像差均为0.132(RMS)；室内选用平行光管进行星点查验、分辨率...

　　用于波前校对LCOS器材相位调制取得的优化，刘永军，胡立发，运用2×2琼斯矩阵法，优化了歪曲型LCOS器材结构，给出了强度改变低于10％的情况下液晶歪曲角规模。在Zygo干与仪上取得了45o歪曲的LCOS器

　　搭建了根据推迟阵列移相的丈量设备，运用该设备和ZygoGPI XP 型干与仪丈量同一块球面镜，丈量波面均方根值相差0.003，峰谷值相差0.033。评论了推迟阵列方位角差错容限和推迟量差错、偏振片透光轴方位角差错对...

　　提出了一种干与图预处理的新办法。该办法运用数学形态学的办法对干与图进行有用区域的边际提取，运用二维快速傅里叶变换迭代法对...成果标明，经过该算法得到的干与图预处理成果，与Zygo干与仪的剖析测验成果根本共同。

　　Truax指出，中场公司(Middle-field)供给Mark I型规范红外(1.06 m)干与仪样品已有五年，但此体系销量不大，首要原因是弧光灯泵浦的Nd:YAG激光器难以取得安稳输出。虽然运用了水冷共振腔，但激光器发生很多热能，...

　　成果标明,会聚光横向剪切移相干与测验,可以实时测验会聚光的波面质量,峰谷值(PV)的重复性为0.022,均方根(RMS)值的重复性为0.014,并与Zygo干与仪的丈量成果进行了比照,验证会聚光剪切移相干与的可行性。

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