球王会官方IDS3010激光干涉位移传感系统

　　超高紧凑体积（50×55×195mm），易于工业集成。传感器可直接集成到机床，3坐标测量系统及半导体设备等设备上。

　　支持工业结构，提供实时数字接口（HSSL，AquadB）以及模拟（sin/cos）位置数据。台提供如CANopen，Profibus，Profibus RT，EtherCAT以及Biss-C等。

　　IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——高分辨扫描X光荧光显微镜测试

　　IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——超高精度非接触式轴误差测量

　　IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——纳米平移台质量控制方案