球王会官方共路激光干涉仪

　　仪器信息网共路激光干涉仪专题为您提供2024年最新共路激光干涉仪价格报价、厂家品牌的相关信息， 包括共路激光干涉仪参数、型号等，不管是国产，还是进口品牌的共路激光干涉仪您都可以在这里找到。 除此之外，仪器信息网还免费为您整合共路激光干涉仪相关的耗材配件、试剂标物，还有共路激光干涉仪相关的最新资讯、资料，以及共路激光干涉仪相关的解决方案。

　　瀚考克光电科技有限公司是专业从事光电检测设备，光学加工设备的销售服务商。公司主营产品：立式激光干涉仪，中心厚度测量仪，镜片边缘涂墨&检查机,中心偏差测量仪，数控非球面铣磨机，抛光机，单点金刚石车床，离子束加工机，轮廓仪，白光干涉仪，工具测量显微镜，显微硬度计。公司业务范围涵盖国内高校、研究所、以及精密光学加工制造企业。公司为以下欧美公司代理商：德国XONOX公司。

　　联合光科技(北京)有限公司创立于2016年, 由国内多家知名光学企业联手创办, 致力于为用户提供优质激光光学元件、工业成像镜头、进口高精度光学检测系统和快捷、专业的解决方案。我们的产品涵盖了大多数光学领域，包括元件类，机械类，光学检测服务，光学冷加工及镀膜，并提供光学产品的定务，在高功率激光和特殊镀膜应用尤为突出。总部位于北京，在深圳和香港设有分公司，在济南、上海设有办事处，并且在长春，锦州，昆明和重庆设有工厂。为了将更好的产品提供给用户，我们在北京建立了先进的检测实验室和较完善的检测体系，并且采用国际知名品牌检测仪器。 主要产品：l 光学元件（标准光学镜片、高功率激光窗口镜片、定制光学元件、偏振元件）l 英国ULO CO2红外光学材料、镜片、光学器件l 光机械部件（压电电控平台，光学防震桌，光学调整架，手动位移台，光机组件，光桥系统）l 全系列高品质工业成像镜头（定焦/远心/线扫/变焦变倍/特殊定制镜头）、照明光源l 光学测量仪器? 德国MarOpto- 轮廓仪、干涉仪（倾斜波干涉仪、斐索干涉仪、动态干涉仪、干涉测量软件、断面检测、表面检测）? 德国Dioptic- ARGOS 表面疵病检测仪、光纤端面缺陷检测? 日本壶坂Tsubosaka-镜头/相机鬼影、杂散光测试系统；可调色温、亮度光源；镜头焦点偏差、光圈、闪光灯、快门测量、手机防抖测试系统；太阳灯? 美国 Bristol- 非接触式测厚仪? 美国Optometrics- 衍射光栅、分光器件、线栅偏振片、Minichrom? 单色仪等? 德国Artifex-光功率计、跨阻抗放大器、门控积分放大器、LIV激光二极管和LED特性测试系统、积分球、激光二极管驱动器? 波兰inframet-可见光电视相机测试系统（TVT）、红外热像仪测试系统（DT、LAFT、SAFT）、夜视仪测试系统（NVT、NVS、NVB）、激光测距机测试系统（LT、LTF、LTE）、二代像管像增强器测试系统（ITS-I、ITS-P、ITS-R）、条纹管测试系统（SPT、STT）、多传感器测试系统（JT、MS）、被动式THz成像仪测试系统（THP）、短波成像仪测试系统（ST）、紫外成像仪测试系统（UT）以及红外热像仪计算机模拟器（Simterm）等? 美国Headwall -高光谱成像、拉曼光谱仪、衍射光学元件? 其他-SPF防晒指数测试仪；大气测量辐射计/光度计；Mini-Chrom单色仪；激光二极管测试分析系统；积分球；激光功率探测器；光伏测试太阳模拟器；固态光电倍增管等等

　　武汉三工精密制造有限公司是由武汉三工光电设备制造有限公司投资成立的高新技术企业，是集技术研究、开发、生产和销售为一体的高科技企业。公司专业研发、生产具有专业技术水平的激光调阻机、激光切割机等精密激光设备，并全部拥有自主知识产权。严格的IS09001质量认证管理体系，现代化的管理模式造就了“三工”品牌的知名度。三工精密定位于高端激光设备的制造及全面的解决方案，设立专门的研发实验室，具有为客户专门订制专用激光设备的实力。成功应用新技术、新工艺，同美国、德国等国外激光技术公司合作，拥有高素质的专业团队，高水平的技术开发人员，拥有各种品牌检测仪器，包括Agilent仪表，包括高低阻测量表、Zygo干涉仪、Tektronix示波器、Coherent脉宽测试仪、Spiricon光束质量分析仪、Newport功率计等共计数十台。公司生产的设备已经成功应用在厚膜电路、传感器、汽车电子、消费电子、军工研究所等行业，在一些特殊行业应用打破国外技术垄断，得到了广大用户的信赖和称赞。

　　本文作者：清华大学张书练教授1. 激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是0.1 μm，1 μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差，第一次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象，这就是光学干涉仪的诞生。注[1]：根据古代和中世纪科学，以太被称为第五元素，是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象，例如光和重力的传播。19世纪末，物理学家假设以太渗透到整个空间，以太是光在真空中传播的介质，但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据，这个结果被解释为没有光以太存在。1961年研究人员发明了氦氖激光器，开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源，从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。但今天在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊，但性能远远胜于迈克尔逊。图1 迈克尔逊干涉仪简图基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8 nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1 mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8 nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。按产生双频的方法，双频激光干涉仪分为塞曼双频激光（国外）干涉仪和双折射-塞曼双频激光（国内）干涉仪。现在干涉仪的指标：最小可感知1 nm（十亿分之1 m），可以测量百米长的零件，且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。2. 测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪？有几个概念的定义比较混乱（特别是有些研究发展趋势的报告），需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定，资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器，一种是测量面型（元件表面）的激光干涉仪，一种是测量位移（长度）的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲，利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离，完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移（长度）的干涉仪都是利用光干涉现象，但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。激光波面干涉仪能够测量光学元件表面的形貌，光束直径要覆盖被测零件，在整个零件表面形成系列干涉条纹，根据测量条纹的亮度（也即相位）算出表面的形貌，其光束口径、零件直径可达百毫米；另一种则是测量位移（长度）干涉仪，光干涉发生在直径几毫米光路上，表现为只有光电探测器（眼睛）正对着射来的光线才能“看”到光强度的波动，由波动的整次数和（不足半波长的）小数算出被测件的位移。 3. 双频激光干涉仪的原理和构成当图1的可动反射镜有位移时，光电探测器光敏面会感受到的光强度正弦变化，动镜移动半个波长，光强变化一个周期。光电探测器将光强变化转化为电信号。如探测到电信号变化了一个周期，我们就知道动镜移动了半个波长。计出总周期数测得动镜的位移。 （1）式中：λ为激光波长，N 为电脉冲总数。今天的激光干涉仪使用632.8 nm波长的激光束，半波长即316.4 nm。动镜安装在被测目标上与目标一起位移，如光刻机的机台，机床的动板上。为了提高分辨力，半波长的正弦信号被细分，变成1 nm甚至0.1 nm的电脉冲，可逆计数器计算出总脉冲数，再由计算机计算出位移量S。也常用下式表示动镜的位移， （2）其中∆f为目标运动速度为V时的多普勒频移。式（1）和（2）是等价的，可以互相推导推出来，仅是表方式的不同。图2是今天的双频激光干涉仪框图。它由7个部分构成。图2 双频激光干涉仪原理框图（1） 双频氦氖激光器氦氖激光器上有磁体。磁体为筒形，激光器上加的是纵向磁场，称为纵向塞曼双频激光器。四分之一波长（λ/4）片把激光器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频激光器则是在激光器内置入双折射元件（图内未画出），并加图2所示的磁条。双折射元件使激光器形成双频，横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频激光干涉仪不需使用四分之一波长片。双频激光器是双频激光干涉仪的核心，很大程度上，它的性能决定激光干涉仪的性能，要求波长（频率）精度高，功率大，寿命长，双频间隔（频差）大且稳定，偏振状态稳定，两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。（2） 频率稳定单元它的作用是保证波长（频率）这把尺子的精确性，达到10-8甚至10-9，即4.74×1014的激光频率长期的变化仅1 MHz左右。（3） 扩束准直器实际上是一个倒装的望远镜，防止光束发散。要求激光出射80 m，光束光斑直径仍然在10 mm之内。（4） 测量干涉光路测量干涉光路包括：从分光镜向右直到可动反射镜（实际是个角锥棱镜），向下到光电探测器2。可动反射镜装在被测目标上（如光刻机工作台上的反射镜），目标的移动产生激光束的频移Δf，Δf和目标速度成正比，积分就是目标走过的距离（位移或长度）。积分由信号处理单元完成。（5） 参考光路参考光路由分光镜-偏振片-光电探测器1实现，参考光路中没有任何元件移动，它测得的位移是“假位移”真噪声。噪声来自环境的扰动。信号处理单元从干涉光路的位移中扣除这一噪声。（6） 温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米，空气折射率（及改变）和长度的乘积成为激光干涉仪的最主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度，信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移，并从结果中扣除。（7）信号处理单元光电探测器1和2，分别把信号f1-(f2±∆f)和f1-f2的光束转化为电信号，±∆f是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度，气压，湿度引入的折射率变化（假位移）送入计算机计算，扣除他们的影响。最后显示。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯，实现对加工过程的闭环控制。4. 激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变。