球王会官方SJ6000激光干涉仪产品资料及技术参数介绍深圳中

　　1、0CHOTEST中图仪器产品解决方案产品SJ600024OCHOTEST中图仪器SJ6000激光干涉仪OCHOTEST中图仪器SJ6000激光干涉仪- - -一、产品开发背景激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用，国产激光干涉仪无论在测量精度、最高测速，还是在最高测速下的分辨率及测量范围等方面，都与国外的产品有着一定的差距。由于技术上的差距，导国内的激光干涉仪SJ6000激光干涉仪测量精度测量速度等方面基本上的水平，能中高端测量技术上的和技术上的垄断，推动激光干涉测量技术的业的检测成本，提升了我国在高精密测量方面的检

　　2、测水平进而提高我国在高端制造领域的整体竞争表1国内外典型激光干涉仪性中图仪器SJ6000RenishawAPIAgilentZYGO所成都工具单/双频单频双频双频双频双频单频产生双频的方法/塞曼效应塞曼效应声光调制塞曼效应/最大频差（MHz）/44201.2/激光稳频精度（ppm）0.05ppm0.05ppm0.02ppm0.1ppm0.1ppm0.05ppm最高测速（mm/s）4000/0分辨率（nm）1110.31201测量范围（m）0线针对国产激光干涉仪测量精度低、测量速度小、测量

　　3、系统操作复杂、测量功能、检测过程复杂激光干涉仪素，我司于2015年在国内首家推出高性能重大产品高精SJ6000激光干涉仪该产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。测量范围广：与不同的光学组件现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量；在相关软件的配行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度定位精度、微量位移精度等动态参量，可以测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，OCHOTEST中图仪器SJ6000激光干涉仪- #- -OCHOTEST中图仪器SJ6000激光干涉仪- - #-SJ6000激光干涉仪0.677777SJ6000激光激光干涉光路设计

　　4、、高精度激光干涉信号处理系统、OCHOTEST中图仪器SJ6000激光干涉仪- #- -0CHOTEST中SJ6000激光干涉仪精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(510分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。使用时，操作者先按照设计的几何光路安装相配合的镜组，几何光路是以迈克尔逊型激光干涉仪原理为基础设计的，下图是迈克尔逊干涉仪的基本原理图：迈克尔逊干涉仪的基本原理图迈克尔逊干涉仪的原理是一束入射光分为两束后各自被对

　　5、应的平面镜反射回来，这两束光从而能够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调整干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现，从而形成不同的干涉图样。干涉条纹是等光程差点的轨迹，因此，要分析某种干涉产生的图样，必求出相干光的光程差位置分布函数。搭建好几何光路后，在检定软件上设定测量的开始、结束位置，点击“开始”按钮，软件界面会实时显示测量所得动态数据；扫描结束后，操作者可通过对测量所得数据曲线进行分析，得到如长度、角度、直线度、垂直度、平面度等参数。并根据系统内置的检测标准对被测件的各项参数进行合格判定，检测结束后自动生成检定结果。四、功能特点1.应用范围广：可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度

　　6、等几何量的检测；在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精OCHOTEST中图仪器SJ6000激光干涉仪- - #-1.0.5ppm（040）2.测量精度高：以激光干涉3.采用稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保激光热稳频控nr?/iHiz干涉光路稳定YY两个方向制系统，保证激光号），光路调节迅先进的PSD技术（光电位置测量6项精感检测器，可将光敏面上的光点差、XX及4.内置GBISOBSDINJIS5.安装15kg平校正仪安装调光方便；断光无影响，方6.界面友好，更符合中国用户操作习惯；7.测量记录采用集中式

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